সিলিকন নাইট্রাইডের প্রস্তুতি প্রক্রিয়া

সিলিকন নাইট্রাইড উত্পাদনের পদ্ধতিটি স্ফটিক পর্ব, বিশুদ্ধতা এবং উপাদানটির সংক্ষিপ্ততার উপর উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে। অ্যাপ্লিকেশন প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে বিভিন্ন উত্পাদন পদ্ধতি বিভিন্ন বৈশিষ্ট্য সহ সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ তৈরি করতে পারে।

উ: সরাসরি নাইট্রাইডিং
পদ্ধতি পদ্ধতি

ওভারভিউ ডাইরেক্ট নাইট্রাইডিং এমন একটি প্রক্রিয়া যেখানে সিলিকন বাষ্প এবং নাইট্রোজেন উচ্চ তাপমাত্রায় সিলিকন নাইট্রাইড গঠনের জন্য প্রতিক্রিয়া দেখায়, সাধারণত 1400 ডিগ্রি এবং 1500 ডিগ্রির মধ্যে তাপমাত্রায়, -সিএনএ এবং -সিয়েন এর মিশ্র পর্যায়ে উপকরণ উত্পাদন করে ₄

প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ এবং প্রযোজ্য পরিস্থিতি

ডাইরেক্ট নাইট্রাইডিং উচ্চ-ভলিউম উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত, তবে এটি একটি সমজাতীয় এবং কমপ্যাক্ট পণ্য নিশ্চিত করার জন্য তাপমাত্রা, নাইট্রোজেন বিশুদ্ধতা এবং প্রবাহ হারের মতো পরামিতিগুলির কঠোর নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন। এই পদ্ধতিটি বাল্ক সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত, যা শিল্প কাঠামোগত সিরামিকগুলির উত্পাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

বি বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) নীতি


রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) এমন একটি প্রক্রিয়া যেখানে সিলেন (সিআইএইচ) এবং অ্যামোনিয়া (এনএইচ) উচ্চ তাপমাত্রায় সিলিকন নাইট্রাইডের পাতলা ছায়াছবি তৈরি করে প্রতিক্রিয়া দেখায়। প্রতিক্রিয়া গ্যাসের অনুপাত এবং প্রবাহের হার নিয়ন্ত্রণ করে, সিলিকন নাইট্রাইড ফিল্মগুলি অভিন্ন বেধ এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ পাওয়া যায়।

সুবিধা এবং অসুবিধা:

সিভিডি পদ্ধতি দ্বারা উত্পাদিত সিলিকন নাইট্রাইডের পাতলা ফিল্মগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং অত্যন্ত কমপ্যাক্ট, তবে এই পদ্ধতির সরঞ্জামগুলি জটিল এবং ব্যয়বহুল এবং এটি অর্ধপরিবাহী এবং মাইক্রো ইলেক্ট্রোনিক ডিভাইসে পাতলা ছায়াছবি উত্পাদন করার জন্য উপযুক্ত।

সি। উচ্চ চাপ
নাইট্রাইডিং কাজের নীতি এবং সরঞ্জাম

প্রয়োজনীয়তা উচ্চ-চাপ নাইট্রাইডিং পদ্ধতি উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপে নাইট্রাইডিং প্রতিক্রিয়া চালিয়ে সিলিকন নাইট্রাইডের ঘনত্ব এবং শক্তি উন্নত করে। উচ্চ-চাপ পরিবেশ সিলিকন এবং নাইট্রোজেনের প্রতিক্রিয়া প্রচার করে, প্রতিক্রিয়া সময় হ্রাস করে।

এই পদ্ধতিটি উচ্চ-ঘনত্বের কাঠামোগত সিরামিকগুলির উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত এবং প্রায়শই উচ্চ শক্তি প্রয়োজনীয়তা সহ সিলিকন নাইট্রাইড উপকরণ যেমন উচ্চ-পারফরম্যান্স বিয়ারিংস এবং কাটিয়া সরঞ্জামগুলির প্রস্তুতিতে ব্যবহৃত হয় তবে সরঞ্জামের প্রয়োজনীয়তা বেশি, প্রস্তুতির ব্যয় বেশি এবং এটি উচ্চ মূল্য সংযোজনযুক্ত পণ্যগুলির উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত।

D. স্ব-প্রচারকারী উচ্চ-তাপমাত্রা সংশ্লেষণ (এসএইচএস)
পদ্ধতি

ওভারভিউ স্ব-প্রচারকারী উচ্চ-তাপমাত্রার সংশ্লেষণ (এসএইচএস) সিলিকন নাইট্রাইড পাউডার তৈরিতে স্বতঃস্ফূর্ত নাইট্রাইডিং প্রতিক্রিয়াকে উত্সাহিত করতে ইগনিশন দ্বারা উচ্চ তাপমাত্রা উত্পাদন করতে রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির স্ব-প্রচারকারী বৈশিষ্ট্যগুলি ব্যবহার করে।

প্রক্রিয়া বৈশিষ্ট্য

এসএইচএস পদ্ধতিতে একটি উচ্চ প্রতিক্রিয়া হার এবং কম শক্তি খরচ রয়েছে তবে প্রতিক্রিয়াটির স্থায়িত্ব এবং অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন। এই পদ্ধতিটি পাউডার উপকরণগুলির বৃহত আকারের উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত এবং মূলত অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য যেমন উপকরণগুলি ফিলিং এবং স্প্রেিং পাউডারগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়।